پاورپوینت درمورد پروژه درس تکنیک خلا(sem)

مشخصات فایل

عنوان: پاورپوینت درمورد پروژه درس تکنیک خلا(sem)

قالب بندی: پاورپوینت

قسمتی از پاورپوینت انگلیسی میساشد

تعداد اسلاید: 17





محتویات

تاریخچه

مقایسه میکروسکوپ های الکترونی با میکروسکوپ اپتیکی

SEMبخش های مهم

تفنگ الکترونی

عدسی ها

سیم پیچ های روبشی

سیستم ایجاد خلا

پمپ های خلا مورد استفاده

پمپ دورانی

پمپ توربو مولکولار

Turbo pump performance

Ion Pumps

و . . .





قسمتی از پاورپوینت

تاریخچه



*فرضیه دوبروی مبنی بر خاصیت موجی الکترون 1923



1932 Knoll & Ruska *ساخت اولین میکروسکوپ الکترونی توسط



1938 Von Ardenne توسط SEM*ساخت اولین



1965 Cambridge تجاری توسط SEM *ساخت نخستین
¨





مقایسه میکروسکوپ های الکترونی با میکروسکوپ اپتیکی



*در ميكروسكوپ نوري شايد بتوان با تغيير انحناي (تقعر و تحدب) سطح عدسي‌ها و تعداد آنها بزگنمائي تصاوير را به هر مقدار زياد كرد اما به علت بلند بودن طول موج نور عملاً تصاوير در بزرگنمائي‌هاي بالاي 2000 وضوح خود را از دست

*در ميكروسكوپ الكتروني به جاي نور از شعاع الكتروني استفاده مي‌شود. چون طول موج الكترون بسيار كوتاه است ميتوان در ميكروسكوپهاي الكتروني بزرگنمائي تصاوير را بسيار بالا برد (تا حد يك ميليون برابر در بعضي از ميكروسكوپهاي الكتروني و يا بيشتر)

*الكترون بر خلاف نور نميتواند به آساني در هوا حركت كند، در نتيجه بايد در مسير حركت الكترون و محفظه نمونه خلأ بسيار قوي ايجاد كرد

و . . .